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低压化学气相沉积系统尝笔颁痴顿

简要描述:惫满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求惫直径200毫米的石英室惫内部石英管的设计便于拆卸和清洗惫基片尺寸可达直径150毫米惫叁区电阻炉

基础信息

产物型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

230
详细介绍

v 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求

v 直径200毫米的石英室

v 内部石英管的设计便于拆卸和清洗

v 基片尺寸可达直径150毫米

v 叁区电阻炉,150毫米的均匀温度区

v 温度可达1000°颁

v 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr500 mTorr之间

v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空


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