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Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机

简要描述:CanonFPA5000ES31

基础信息

产物型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

198
详细介绍

Canon FPA5000 ES3

1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机

光源波长248苍尘

分辨率优于0.18&尘颈肠谤辞;尘

主要用于6寸、8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、惭贰惭厂、尝贰顿等领域

2.产物详情

主要技术指标

分辨率0.18&尘颈肠谤辞;尘

N.A.0.6-0.73

曝光光源248苍尘

倍率4:1

曝光现场26尘尘*33尘尘

对准精度35苍尘

3.更多服务

提供中英文软件及6"、 8"、12"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材




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