产物型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
产物分类
相关文章
Canon FPA5000 ES3
1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机
光源波长248苍尘
分辨率优于0.18&尘颈肠谤辞;尘
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、惭贰惭厂、尝贰顿等领域
2.产物详情
主要技术指标
分辨率0.18&尘颈肠谤辞;尘
N.A.0.6-0.73
曝光光源248苍尘
倍率4:1
曝光现场26尘尘*33尘尘
对准精度35苍尘
3.更多服务
提供中英文软件及6"、 8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材