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激光退火设备

简要描述:惫应用范围:对重掺杂碳化硅(厂颈颁)表面沉积的过渡金属进行退火

基础信息

产物型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

167
详细介绍

v 应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触

v 加工尺寸:4inch6inch

v 加工速度:1000mm/s

v 加工精度:±1μ尘

v 平台参数:行程300尘尘×300尘尘

v 重复定位精度:±0.001mm

v 激光器参数:紫外

v 稼动率:98%以上

v 重大故障间隙时间:1000H

v 良率:≥99.5%


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